YBa[2]Cu[3]O[7-x]薄膜結晶成長に及ぼす酸素分圧の効果に関する研究

長谷隆司 [著]

[目次]

  • 目次 / p1
  • 第1章 序章 / p1
  • 1.1 本研究の背景 / p1
  • 1.2 本研究の目的と意義 / p13
  • 1.3 本研究の構成 / p15
  • 参考文献 / p18
  • 第2章 Y-Ba-Cu金属薄膜のその場酸化によるYBa₂Cu₃O₇-x薄膜の作製 / p20
  • 2.1 緒言 / p20
  • 2.2 その場酸化による酸化物薄膜の作製 / p21
  • 2.3 超高真空中におけるY-Ba-Cu金属薄膜の作製 / p29
  • 2.4 その場酸化したYBCO薄膜の結晶成長 / p35
  • 2.5 結言 / p40
  • 参考文献 / p41
  • 第3章 Y-Ba-Cu-O前駆体からのc軸配向YBa₂Cu₃O₇-x薄膜の作製 / p42
  • 3.1 緒言 / p42
  • 3.2 高酸素分圧下におけるY-Ba-Cu-O前駆体の作製 / p43
  • 3.3 熱処理によるc軸配向YBa₂Cu₃O₇-x薄膜の作製 / p50
  • 3.4 熱処理(Step II)中の酸素分圧が結晶成長に及ぼす効果 / p58
  • 3.5 結言 / p77
  • 参考文献 / p78
  • 第4章 レーザ蒸着薄膜の結晶性に及ぼす成膜中酸素分圧の影響 / p79
  • 4.1 結言 / p79
  • 4.2 低酸素分圧(1m,10mTorr)中の成膜 / p81
  • 4.3 酸素分圧100mTorr中の成膜 / p95
  • 4.4 結言 / p99
  • 参考文献 / p100
  • 第5章 レーザ蒸着法によるa軸配向YBa₂Cu₃O₇-x薄膜の作製 / p101
  • 5.1 緒言 / p101
  • 5.2 成膜速度制御によるa軸配向エピタキシャル薄膜の作製 / p101
  • 5.3 成膜中の酸素分圧が結晶成長に及ぼす効果 / p105
  • 5.4 a軸配向エピタキシャル薄膜の結晶性と超電導特性 / p107
  • 5.5 結言 / p115
  • 参考文献 / p116
  • 第6章 ex situ・in situの両プロセスにおける酸素分圧効果の類似点と相違点 / p117
  • 6.1 緒言 / p117
  • 6.2 酸素分圧効果の類似点 / p117
  • 6.3 酸素分圧効果の相違点 / p120
  • 6.4 結言 / p126
  • 参考文献 / p127
  • 第7章 総括 / p128
  • 謝辞 / p130
  • 研究業績目録 / p131

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 YBa[2]Cu[3]O[7-x]薄膜結晶成長に及ぼす酸素分圧の効果に関する研究
著作者等 長谷 隆司
書名ヨミ YBa2Cu3O7-x ハクマク ケッショウ セイチョウ ニ オヨボス サンソ ブンアツ ノ コウカ ニ カンスル ケンキュウ
出版元 [出版者不明]
刊行年月 [1994]
ページ数 ii, 133p
大きさ 31cm
NCID BB15115244
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言語 日本語
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