静電式S字型フィルムアクチュエータの研究

式田光宏 [著]

[目次]

  • 目次
  • 1.序論 / p1
  • 1.1 本研究の背景 / p1
  • 1.2 本論文の構成 / p5
  • 2.マイクロシステムにおけるアクチュエータの技術課題 / p7
  • 2.1 マイクロアクチュエータのエネルギ源 / p7
  • 2.2 マイクロアクチュエータの各種駆動方式とその特徴 / p9
  • 2.3 マイクロアクチュエータの技術課題 / p21
  • 3.静電式S字型フィルムアクチュエータの提案 / p25
  • 3.1 アクチュエータの構造及び動作原理 / p25
  • 3.2 本アクチュエータを用いた各種応用デバイス構造 / p29
  • 4.S字型フィルムアクチュエータの動作特性 / p35
  • 4.1 試作品の構造及びS字部分の横移動速度測定方法 / p37
  • 4.2 フィルムの寸法効果と応答速度 / p43
  • 4.3 気体中でのアクチュエータの動作特性 / p52
  • 4.4 粘性液体中でのフィルムの動作特性 / p59
  • 4.5 各種動作環境下におけるアクチュエータの運動の考察 / p64
  • 4.6 本章のまとめ / p66
  • 5.マイクロマシニング技術によるS字型フィルムアクチュエータのマイクロ化 / p69
  • 5.1 マイクロ化のための製作プロセス / p69
  • 5.2 S字型金属フィルムの作製 / p73
  • 5.3 マイクロアクチュエータの作製 / p84
  • 5.4 マイクロアクチュエータの動作確認 / p89
  • 5.5 本章のまとめと今後の課題 / p95
  • 6.マイクロアクチュエータの流体機械への応用 / p97
  • 6.1 マイクロ流体機械を適用した半導体薄膜製造装置 / p97
  • 6.2 S字型フィルムアクチュエータを用いたバルブ構造 / p101
  • 6.3 分子線エピタキシ装置用ガスバルブの動作特性 / p106
  • 6.4 高圧ガス装置用ガスバルブの動作特性 / p126
  • 6.5 本章のまとめと今後の課題 / p134
  • 7.結論 / p137
  • 謝辞 / p139
  • 参考文献 / p141
  • 付録 / p149

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 静電式S字型フィルムアクチュエータの研究
著作者等 式田 光宏
書名ヨミ セイデンシキ Sジガタ フィルム アクチュエータ ノ ケンキュウ
出版元 [出版者不明]
刊行年月 [1998]
ページ数 152p
大きさ 30cm
NCID BB14762086
※クリックでCiNii Booksを表示
言語 日本語
この本を: 
このエントリーをはてなブックマークに追加

このページを印刷

外部サイトで検索

この本と繋がる本を検索

ウィキペディアから連想