走査型力顕微鏡とその微小力測定に関する研究

[目次]

  • 目次 / p1
  • 1章 序論 / p3
  • 1.1 走査型プローブ顕微鏡の歴史 / p3
  • 1.2 走査型力顕微鏡の分類 / p4
  • 1.3 走査型力顕微鏡の問題点 / p4
  • 1.4 各測定モードの問題点 / p5
  • 1.5 力平衡法の誕生 / p6
  • 1.6 従来の静電方式の問題点 / p6
  • 1.7 章構成 / p7
  • 2章 共通光路型ヘテロダイン干渉計を用いた走査型力顕微鏡 / p8
  • 2.1 緒言 / p8
  • 2.2 光ヘテロダイン法 / p8
  • 2.3 光学系 / p9
  • 2.4 走査型力顕微鏡の構成 / p11
  • 2.5 装置の調整方法 / p18
  • 2.6 走査方法 / p18
  • 2.7 測定結果 / p19
  • 2.8 問題点と対策 / p24
  • 2.9 結言 / p25
  • 3章 力平衡型微小力測定機構(I)(光てことシーソー型レバー) / p26
  • 3.1 緒言 / p26
  • 3.2 表面力測定の歴史 / p27
  • 3.3 光てこえを用いた力平衡型微小力測定機構 / p35
  • 3.4 等価ばね定数と換算定数 / p40
  • 3.5 フォース・カーブの測定 / p41
  • 3.6 装置の性能評価 / p43
  • 3.7 結言 / p46
  • 4章 力平衡型微小力測定機構(II)(光ファイバとカンチレバー) / p47
  • 4.1 緒言 / p47
  • 4.2 光ファイバを用いた力平衡型微小力検出機構 / p47
  • 4.3 システムの特性 / p52
  • 4.4 フォース・カーブ測定 / p55
  • 4.5 探針挙動のシミュレーション / p59
  • 4.6 検討 / p62
  • 4.7 力平衡型微小力検出機構の比較 / p63
  • 4.8 結言 / p65
  • 5章 結論 / p66
  • 参考文献 / p68
  • 謝辞 / p73

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 走査型力顕微鏡とその微小力測定に関する研究
著作者等 加藤 暢宏
書名ヨミ ソウサガタリョク ケンビキョウ ト ソノ ビショウリョク ソクテイ ニ カンスル ケンキュウ
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