ヘリウムあるいはアルゴンと酸素混合ガスを用いた高温超伝導スパッタ薄膜の作製とデバイス化に関する研究

[目次]

  • 目次 / p1
  • 第1章 序論 / p1
  • 1.1 本研究の背景 / p1
  • 1.2 従来の研究概要 / p2
  • 1.3 本研究の目的と構成 / p5
  • 参考文献 / p7
  • 第2章 He+O₂及びAr+O₂ガスによるプラズマの活性化 / p10
  • 2.1 緒言 / p10
  • 2.2 Heガスによるペニング効果 / p11
  • 2.3 RFスパッタ法における混合ガスのプラズマの診断 / p15
  • 2.4 結言 / p19
  • 参考文献 / p20
  • 第3章 スパッタガスによるイオン効果 / p21
  • 3.1 緒言 / p21
  • 3.2 スパッタガスプラズマ中の反応についての考察 / p22
  • 3.3 Cu-O薄膜の作製 / p28
  • 3.4 結言 / p31
  • 参考文献 / p33
  • 第4章 [化学式]超伝導薄膜の作製 / p35
  • 4.1 緒言 / p35
  • 4.2 実験方法 / p35
  • 4.3 Heガスを用いた超伝導薄膜の超伝導特性 / p36
  • 4.4 Heガスを用いた超伝導薄膜の諸特性 / p37
  • 4.5 Arガスとの比較 / p42
  • 4.6 結言 / p46
  • 参考文献 / p47
  • 第5章 [化学式]におけるバイアス効果と高スパッタガス圧効果 / p48
  • 5.1 緒言 / p48
  • 5.2 バイアス効果 / p48
  • 5.3 高スパッタガス圧効果 / p50
  • 5.4 結言 / p55
  • 参考文献 / p56
  • 第6章 超伝導薄膜を用いた素子応用 / p57
  • 6.1 緒言 / p57
  • 6.2 YBa₂Cu₃Oy超伝導体薄膜を用いた素子応用 / p58
  • 6.3 素子特性 / p64
  • 6.4 結言 / p68
  • 参考文献 / p69
  • 第7章 結論 / p71
  • 謝辞

「国立国会図書館デジタルコレクション」より

この本の情報

書名 ヘリウムあるいはアルゴンと酸素混合ガスを用いた高温超伝導スパッタ薄膜の作製とデバイス化に関する研究
著作者等 原田 寛治
書名ヨミ ヘリウム アルイワ アルゴン ト サンソ コンゴウ ガス オ モチイタ コウオン チョウデンドウ スパッタ ハクマク ノ サクセイ ト デバイスカ ニ カンスル ケンキュウ
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